उच्च परिशुद्धता रैखिक रेल की सटीकता को कौन से कारक प्रभावित करते हैं?

उच्च परिशुद्धता रैखिक रेल की सटीकता को कौन से कारक प्रभावित करते हैं?

उच्च परिशुद्धता रैखिक रेल(आमतौर पर अर्धचालक विनिर्माण, प्रिसिजन टेस्टिंग उपकरण, उच्च-अंत मशीन टूल्स और अन्य परिदृश्यों में उपयोग किया जाता है, C5 और ऊपर की सटीकता स्तर, ± 0.005 मिमी से कम या उसके बराबर की स्थिति को दोहराने के लिए) कई लिंक के कारकों द्वारा सख्त बाधाओं की सटीकता, और अधिक जटिल गाइड की तुलना में अधिक जटिल और संवेदी है,

सबसे पहले, कारकों को प्रभावित करने वाले निर्माण श्रृंखला का मूल
1। सामग्री और गर्मी उपचार प्रक्रिया
सामग्री एकरूपता:
गाइड बॉडी ज्यादातर उच्च-कार्बन क्रोम असर स्टील (जैसे कि SUJ2) या सिरेमिक सामग्री का उपयोग कर, यदि ढीली, अलगाव या गैर-धातु समावेशन की सामग्री की आंतरिक उपस्थिति (आकार> 5μm जो प्रभावित हो सकती है), तो गर्मी-उपचार के असमान वितरण के कारण, जो कि छोटे अपवर्धक (जैसे कि वक्रता) की पीढ़ी के लंबे समय तक उपयोग करने के लिए प्रेरित करेगी।

गर्मी उपचार सटीकता:
यदि सख्त प्रक्रिया के दौरान तापमान को ठीक से नियंत्रित नहीं किया जाता है (जैसे कि हीटिंग दर में उतार-चढ़ाव) 5 डिग्री), तो यह गाइड रेल सतह (HRC58-62 और 1HRC के बराबर या उससे कम विचलन की असमान कठोरता को जन्म देगा), स्थानीय पहनने के प्रतिरोध अंतर लंबे समय तक संचालन के बाद असमान और संचयी आवास त्रुटि को जन्म देगा; और टेम्परिंग पर्याप्त नहीं है, अवशिष्ट आंतरिक तनाव होगा, जिसके परिणामस्वरूप समय के साथ गाइड रेल की विरूपण की थोड़ी मात्रा होती है (जैसे कि वर्ष के प्रत्येक मीटर की लंबाई ＞ 0.002 मिमी की लंबाई का विरूपण

2। सटीक मशीनिंग प्रक्रिया
गाइड रेल क्रॉस-सेक्शन माइक्रो-सटीक:
वक्रता सहिष्णुता के गाइड रेल रेसवे त्रिज्या को ± 0.001 मिमी (± 0.01 मिमी के लिए साधारण गाइड) पर नियंत्रित करने की आवश्यकता है, अगर विचलन बहुत बड़ा है तो गेंद और रेसवे संपर्क बिंदु ऑफसेट के लिए नेतृत्व करेगा, जिसके परिणामस्वरूप अतिरिक्त टोक़, सीधे के संचालन को प्रभावित करेगा; डेटम विमान के गाइड साइड को 0.002 मिमी/100 मिमी (0.01 मिमी/100 मिमी से कम या उससे कम के लिए साधारण गाइड) से कम या बराबर की आवश्यकता होती है, अन्यथा स्थापना को स्थापित नहीं किया जा सकता है, गाइड का उपयोग . 100 मिमी) नहीं किया जा सकता है, अन्यथा स्थापना संदर्भ सतह के माध्यम से स्थिति की सटीकता की गारंटी नहीं दे सकती है।

पीसने की प्रक्रिया स्थिरता:
प्रिसिजन गाइडवे का अंतिम प्रसंस्करण अल्ट्रा-सटीकता पीसने (पहिया की गति को 15000r/मिनट से अधिक या उसके बराबर पीसने की गति) पर निर्भर करता है, यदि पीस व्हील वियर समान नहीं है (जैसे कि प्रति घंटा ＞ 0.002 मिमी पहनना), फ़ीड का उतार-चढ़ाव (± 0.001 मिमी या उससे कम योग्य है), यह योग्यता के साथ बारीकियों को कम करने की आवश्यकता होगी। 0.1μM/25 मिमी), जो सीधे स्लाइडर के संचालन की चिकनाई को प्रभावित करता है।

3। विधानसभा और जोड़ी सटीकता
प्रिसिजन गाइड रेल का उपयोग आमतौर पर "रेल - स्लाइडर" जोड़ी पीसने की प्रक्रिया का उपयोग किया जाता है, अगर स्टील बॉल व्यास सहिष्णुता की जोड़ी (± 0.0005 मिमी से कम या उससे कम की आवश्यकताएं) असंगत है, तो स्लाइडर में परिसंचारी चैनल की स्थिति विचलन (± 0.002 मिमी से कम), 0.001 मिमी)। (0.001 मिमी से कम या उसके बराबर आयाम), स्थिति सटीकता की पुनरावृत्ति को कम करना।

दूसरा, स्थापना और कमीशन कारक
1। स्थापना डेटम परिशुद्धता:
गाइड रेल फ्लैटनेस के आधार की स्थापना को 0.005 मिमी/100 मिमी से कम या बराबर होने की आवश्यकता है (साधारण दृश्य 0.02 मिमी/100 मिमी से कम या उसके बराबर है), यदि कोई टक्कर या अवसाद है, तो बल की गाइड रेल विरूपण की विरूपण का कारण होगा (प्रति मीटर की मात्रा का विरूपण> 0.003 मिमी जो सटीकता को प्रभावित करता है); बेस सतह खुरदरापन को RA0.8μM से कम या बराबर होना चाहिए, अन्यथा स्थानीय तनावों के साथ असमान संपर्क के कारण बोल्ट को कड़ा कर दिया जाएगा। अन्यथा, जब बोल्ट को कड़ा कर दिया जाता है, तो असमान संपर्क के कारण स्थानीयकृत तनाव उत्पन्न होगा।

जब कई गाइड रेल को विभाजित किया जाता है, तो जोड़ों पर ऊंचाई का अंतर (0.002 मिमी से कम या बराबर या 0.003 मिमी से कम या उसके बराबर या बराबर) को सख्ती से नियंत्रित करने की आवश्यकता होती है, अन्यथा स्लाइडर का प्रभाव होगा जब यह जोड़ों से गुजरता है, जिसके परिणामस्वरूप सटीकता में तात्कालिक उतार -चढ़ाव होता है।

2। स्थापना बन्धन विधि:
असमान बोल्ट प्रीलोड (अनुशंसित टोक़ रिंच नियंत्रण, कम से कम या ± 5%के बराबर त्रुटि) गाइड रेल के स्थानीय झुकने के लिए नेतृत्व करेगा; यदि बोल्ट रिक्ति बहुत बड़ी है (300 मिमी से अधिक), तो इसे ऑपरेशन की लंबी अवधि के बाद कंपन के कारण ढीला किया जा सकता है, और स्थिति त्रुटि जमा हो जाएगी।

निश्चित तरीके से गाइड और बेस (जैसे चिपकने वाली सहायता प्राप्त बन्धन) यदि चिपकने वाली परत की मोटाई एक समान नहीं है (विचलन> 0.002 मिमी), ट्रेस टिल्ट गाइड का पता लगाएगा, तो स्ट्रेटनेस को प्रभावित करेगा।

3। समानता और समाक्षीयता समायोजन:
जब डबल गाइड स्थापित किया जाता है, तो समानांतरता त्रुटि को 0.003 मिमी/500 मिमी से कम या बराबर होने की आवश्यकता होती है (सामान्य दृश्य 0.01 मिमी/500 मिमी से कम या बराबर है), अन्यथा स्लाइडर के दोनों सिरों पर बल असंतुलित होता है, अतिरिक्त घर्षण टोक़ पैदा करता है, जिसके परिणामस्वरूप ट्रैक ऑफसेट चलाता है।

ड्राइव सिस्टम (जैसे बॉल स्क्रू) के साथ समाक्षीय विचलन (0.005 मिमी से कम या बराबर), यदि पार हो जाता है, तो ड्राइव फोर्स की दिशा ऑफसेट के कारण पार्श्व बल उत्पन्न करेगा, गाइडवे की गति सटीकता को नष्ट कर देगा।

तीसरा, पर्यावरणीय कारकों का उपयोग
1। तापमान में उतार -चढ़ाव:
प्रिसिजन गाइड तापमान में बदलाव के लिए बेहद संवेदनशील है, 1 डिग्री के परिवेश के तापमान में उतार-चढ़ाव, गाइड (स्टील) 0.011 मिमी / एम परिवर्तनों की लंबाई के थर्मल विस्तार और संकुचन के कारण होगा (11 × 10-⁶ / डिग्री के रैखिक विस्तार का गुणांक), यदि उपकरण में तापमान मुआवजा प्रणाली नहीं है, तो यह सीधे तौर पर त्रुटियों की स्थिति का नेतृत्व करेगा। उदाहरण के लिए, अर्धचालक लिथोग्राफी में, गाइड के थर्मल विरूपण से बचने के लिए परिवेश के तापमान को 23 ± 0.1 डिग्री पर नियंत्रित करने की आवश्यकता है।

2। कंपन और झटका:
बाहरी कंपन (जैसे कि ग्राउंड वाइब्रेशन एक्सेलेरेशन> 0.01G) माइक्रो-स्लाइडिंग (आयाम> 0.0005 मिमी) के बीच गाइड और स्लाइडर को जन्म देगा, जो स्थैतिक स्थिति सटीकता को कम करता है; बार -बार झटके (जैसे कि मशीनिंग उपकरणों में बल में उतार -चढ़ाव काटना) स्टील बॉल और रेसवे के पहनने में तेजी लाएगा, ताकि तेजी से गिरावट के साथ समय के उपयोग की सटीकता हो।

3। स्वच्छता और स्नेहन:
रेसवे में पर्यावरण में धूल (कण आकार> 0.5μm), स्टील बॉल और रेसवे पीस वियर, सटीकता में अल्पकालिक गिरावट के लिए नेतृत्व करेगा; ग्रीस शुद्धता (अशुद्धता कण 0.001 मिमी से कम या बराबर) और भरने (समय की मात्रा को फिर से भरने के लिए प्रत्येक 100 किमी ऑपरेशन) पर्याप्त नहीं है, घर्षण को बढ़ाएगा, जिसके परिणामस्वरूप चक्रीय सटीक विचलन होगा।

चौथा, सामग्री और हानि कारकों का उपयोग
1। सामग्री स्थिरता:
Insufficient aging treatment of guideway material (e.g. residual stress >50MPa) will produce slow deformation (annual deformation >0.002 मिमी/मी) लंबे समय तक उपयोग में तनाव रिलीज के कारण, जिसके परिणामस्वरूप सटीक बहाव होता है।

2। पहनें और थकान:
यहां तक कि आदर्श कामकाजी परिस्थितियों में, स्टील बॉल और रेसवे (3000mpa या उससे अधिक तक) के बीच संपर्क तनाव से छोटे पहनने होंगे, और 100 किमी के संचालन के बाद, रिपीट पोजिशनिंग सटीकता 0.001-0.002 मिमी तक कम हो सकती है; यदि ऑफ-लोडिंग (लोड ऑफसेट सेंटर) 5 मिमी) है, तो पहनने में वृद्धि होगी, और सटीक गिरावट की गति 3-5 गुना बढ़ जाएगी।

सारांश में, की सटीकता उच्च परिशुद्धता रैखिक रेल "विनिर्माण सटीकता - स्थापना नियंत्रण - पर्यावरण प्रबंधन - उपयोग और रखरखाव" की पूरी श्रृंखला के तालमेल का परिणाम है, और किसी भी लिंक में कोई भी छोटा विचलन अंतिम सटीकता त्रुटि को बढ़ा सकता है, इसलिए डिजाइन और अनुप्रयोग में नियंत्रण की पूरी प्रक्रिया को पूरा करना आवश्यक है।

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